완전 베어링 타입 터보 분자 펌프, 통합 바카라 게임 공급 장치TMP-B300

표준 바카라 게임 사양

모델 TMP-B300
냉각 방법 자연적으로 공랭식 강제 공기 냉각 물 냉각*1
압력 달성*3 베이킹 후 *2 10-8PA 주문*3 10-8PA 주문*3
베이킹 전 10-6PA 주문 10-6PA 주문 10-6PA 주문
배기 속도*4 N2 280L/S 280L/S 280 l/s
he 270L/S 270L/S 270 l/s
H2 220L/S 220L/S 220 l/s
최대 압축 비율 N2 > 1 × 109 > 1 × 109 > 1 × 109
he 7 × 106 7 × 106 7 × 106
H2 1 × 105 1 × 105 1 × 105
치명적 배압 1300PA 1300PA 1300 PA
연속 조작
할 수 있습니다
최대 배기
압력*5
N2 100PA
(35 ° C 미만의 주변 온도)
1000 PA
(25 ° C 미만의 주변 온도)
930 PA
(35 ° C 미만의 주변 온도)
1300 PA
(40 ° C 미만의 주변 온도)
지속적인 작동 가능
N2가스 유량
10 SCCM
(주변 온도 : 25 ° C)
4 SCCM
(주변 온도 : 35 ° C)
100 SCCM
(주변 온도 : 25 ° C)
40 SCCM
(주변 온도 : 35 ° C)
240 SCCM
(40 ° C 미만의 주변 온도)
질량 icf 9.4 kg 9.7 kg 10.1 kg
vg 6.3 kg 6.6 kg 7.0 kg
ISO 6.0 kg 6.3 kg 6.7 kg
KF
바카라 게임 방법 반발 마그네틱 바카라 게임, 세라믹 볼 바카라 게임
흡기 플랜지 VG100, ICF152, ISO100
배기 벤트 플랜지 KF16
지정된 회전 번호 60000 rpm
시작 시간 (최대 80%) 3.5 분
장착 방향 All-Way
노이즈
[측정 방법에 따라]*6
50dB 미만 (A)
허용 가능한 자기 플럭스 밀도 Radius 3 MT
축 방향 15 MT
바카라 게임 공급 장치
전압 DC24 V ± 5 %
최대 전력 필수 180 W
  • *1 : 냉각수 온도 : 이슬점 위, 28 ° C 미만, 냉각수 유량 : 1L/min
    *2 : 베이킹은 ICF 플랜지가 강제 공랭식 또는 냉각 된 경우에만 수행 할 수 있습니다.
  • *3 : 보조 펌프로 2 단계 오일 로터리 펌프 (Shimadzu Industrial Systems에서 제조)를 사용할 때의 값.
  • *4 : 보호 그물이 없을 때의 값.
      n 보호 그물을 사용할 때2가스의 배기 속도는 260 L/s입니다.
  • *5 :이 값은 흡기로부터의 배기 가스 유량이 0 ml/min 일 때 지속적으로 작동 할 수 있습니다.
  • *6 : ISO 플랜지 사양을 사용한 측정 값.