표준 바카라 필승법 사양
| 터보 분자 바카라 필승법 | TMP-2804LMC | TMP-2804LMTC | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG250 | ISO250B | VG250 | ISO250B | |
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | ||||
| 냉각 방법 | 물 냉각 | ||||
| 압력 달성 압력 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | ||||
| AR의 최대 허용 유량 | 1900 ml/min※ 1 *2 | 1000 ml/min (설정 바카라 필승법 : 65 ℃)※ 1 *4 |
|||
| 연속 작동 중 최대 흡입 압력 | 40 PA | ||||
| 연속 작동 중 최대 배기 압력 | 270 PA | ||||
| 배기 속도*3 | N2 | 2800 l/s | 2500 l/s | 2800 l/s | 2500 l/s |
| ar | 2700 l/s | 2400 l/s | 2700 l/s | 2400 l/s | |
| H2 | 2100 l/s | 2000 l/s | 2100 l/s | 2000 l/s | |
| HE | 2800 l/s | 2600 l/s | 2800 l/s | 2600 l/s | |
| 압축 비율 | N2 | 1 × 109위 | |||
| HE | 1 × 105 | ||||
| H2 | 6 × 103 | ||||
| 지정된 회전 속도 | 27600 rpm | ||||
| 시작 시간 | 12 분 이내 | ||||
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | ||||
| 진동 [측정 방법에 따라] | 0.01 μm 이하 (단일 진폭) | ||||
| 권장 가스 퍼지 유량*1 | 30 ml/min | ||||
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 1500 l/min 이상 | ||||
| 바카라 필승법 설정*5 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |||
| 허용 주변 바카라 필승법 | 0 ~ 40 ℃ | 10 ~ 40 ℃ | |||
| 허용 가능한 자기 플럭스 밀도 | Radius | 3 MT | |||
| 축 방향 | 15 MT | ||||
| 냉각수 | 유량 | 2 ~ 4 l/min | |||
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |||
| 수온 | 5 ~ 25 | ||||
| 질량 | 84 kg | ||||
- *1 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기에서의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *2 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 바카라 필승법", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 출구 압력"에 따라 다릅니다.
- *3 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 속도는 VG250 : 2550 L/s 및 ISO250B : 2300 L/s입니다.
- *4 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 바카라 필승법", "펌프 세트 바카라 필승법", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 콘센트 압력"에 따라 다릅니다.
- *5 : 바카라 필승법 센서의 모니터 값을 사용하여 냉각수를 켜는 바카라 필승법입니다. 히터는 -5 ° C의 정해진 바카라 필승법에서 켜지거나 꺼집니다.
표준 전원 공급 장치 사양
| 전원 공급 장치 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 필수 | ||
| 펌프 바카라 필승법 제어 용 바카라 필승법 설정 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 조합 호환성 | 펌프, 전원 공급 장치 및 제어 케이블과 호환 | 펌프, 전원 공급 장치, 제어 케이블 및 바카라 필승법 제어 케이블과 호환 | |
| 가변 회전 속도 | 작동 속도는 지정된 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | ||
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (MR-34) | |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | |||
| 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고 | 출력 : 회전 / ACC. / 브레이크 / 정상 / 원격 / 알람 / 경고 / temp.stable | ||
| 직렬 인터페이스 | 전면 패널 : RS-232C (D-Sub 9 핀 남성, 고정 브래킷 M2.6) | ||
| 후면 패널 : RS-485 (D-Sub 9-Pin Female, 고정 브래킷 M2.6) | |||
| 허용 가능한 주변 조건 | 바카라 필승법 | 0 ~ 45 ° C 작동 (하지만 응축되지 않음) | |
| 습도 | 40 ~ 80 %RH | ||
| 입력 전원 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz) | |
| 전력 필수 | 1.5 kva | 2.0 kva | |
| 질량 | 8 kg | ||