표준 바카라 룰 사양
| 터보 분자 바카라 룰 | TMP-3304LMC (0) | TMP-3304LMTC (0) | |
|---|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG300 | ||
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 물 냉각 | ||
| 압력 달성 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | ||
| AR에 대한 최대 허용 유량 | 1900 ml/min※ 1 *2 | 1000 ml/min (설정 바카라 룰 : 65 ° C)※ 1 *4 | |
| 연속 작동 중 최대 흡입 압력 | 40 PA | ||
| 연속 작동 중 최대 배기 압력 | 270 PA | ||
| 배기 속도*3 | N2 | 3200 l/s | |
| ar | 3100 l/s | ||
| H2 | 2200 l/s | ||
| HE | 3100 l/s | ||
| 압축 비율 | N2 | 1 × 109 위 | |
| HE | 1 × 105 | ||
| H2 | 6 × 103 | ||
| 지정된 회전 속도 | 27600 rpm | ||
| 시작 시간 | 12 분 이내 | ||
| 장착 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | ||
| 진동 [측정 방법에 따라서] | 0.01 μm 이하 (단일 진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 유량*1 | 30 ml/min | ||
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 1500 l/min 이상 | ||
| 바카라 룰 설정 | － | 65 ℃, 75 ℃*5 | |
| 허용 주변 바카라 룰 | 0 ~ 40 ℃ | 10 ~ 40 ℃ | |
| 허용 가능한 자기 플럭스 밀도 | 반경 | 3 MT | |
| 축 방향 | 15 MT | ||
| 냉각수 | 유량 | 2 ~ 4 l/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 5 ~ 25 | ||
| 질량 | 84 kg | ||
- *1 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기에서의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *2 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 바카라 룰", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 출구 압력"에 따라 다릅니다.
- *3 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 속도는 2900 L/s입니다.
- *4 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 바카라 룰", "펌프 세트 바카라 룰", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 아울렛 압력"에 따라 다릅니다.
- *5 : 바카라 룰 센서의 모니터 값을 사용하여 냉각수를 켜는 바카라 룰입니다. 히터는 -5 ° C의 정해진 바카라 룰에서 켜지거나 꺼집니다.
표준 전원 공급 장치 사양
| 전원 공급 장치 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 필수 | ||
| 펌프 바카라 룰 제어 용 바카라 룰 설정 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 조합 호환성 | 펌프, 전원 공급 장치 및 제어 케이블 조합과 호환 | 펌프, 전원 공급 장치, 제어 케이블 및 바카라 룰 제어 케이블과 호환 | |
| 가변 회전 속도 | 운영 속도는 지정된 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (0.1% 단위의 설정) |
||
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (MR-34) | |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | |||
| 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고 | 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고/temp.stable | ||
| 직렬 인터페이스 | 전면 패널 : RS-232C (D-Sub 9 핀 남성, 고정 브래킷 M2.6) | ||
| 후면 패널 : RS-485 (D-Sub 9-Pin Female, 고정 브래킷 M2.6) | |||
| 허용 가능한 주변 조건 | 바카라 룰 | 0 ~ 45 ° C 작동 (그러나 응축되지 않음) | |
| 습도 | 40 ~ 80 %RH | ||
| 입력 전원 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz ± 2Hz) | |
| 전력 필수 | 1.5 kva | 2.0 kva | |
| 질량 | 8 kg | ||