표준 바카라 필승법 사양
| 터보 분자 바카라 필승법 | TMP-4304LMC | TMP-4304LMTC | |
|---|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG350 | ||
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 물 냉각 | ||
| 압력 달성 압력 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | ||
| AR에 대한 최대 허용 유량※ 1 *2 | 2200 ml/min*1 | 1200 ml/min (설정 온도 : 65 ℃)※ 1 *2 |
|
| 연속 작동 중 최대 흡입 압력 | 40 PA | ||
| 연속 작동 중 최대 배기 압력 | 270 PA | ||
| 배기 속도*3 | N2 | 4400 l/s | |
| ar | 4200 l/s | ||
| H2 | 2600 l/s | ||
| 압축 비율 | N2 | 1 × 109위 | |
| he | 3 × 104 | ||
| H2 | 2 × 103 | ||
| 지정된 회전 속도 | 24000 rpm | ||
| 시작 시간 | 18 분 이내 | ||
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | ||
| 진동 [측정 방법에 따라] | 0.01 μm 이하 (하나의 진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 흐름*1 | 30 ml/min | ||
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 1500 l/min 이상 | ||
| 온도 설정*4 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 허용 주변 온도 | 0 ~ 40 ℃ | 10 ~ 40 ℃ | |
| 허용 가능한 자기 플럭스 밀도 | RADIUS | 3 MT | |
| 축 방향 | 15 MT | ||
| 냉각수 | 유량 | 2 ~ 4 l/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 5 ~ 25 | ||
| 질량 | 105 kg | ||
- *1 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기에서의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *2 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 온도", "펌프 세트 온도", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 아울렛 압력"에 따라 다릅니다.
- *3 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 속도는 4000 L/s입니다.
- *4 : 온도 센서의 모니터 값을 사용하여 냉각수를 켜는 온도입니다. 히터는 -5 ° C의 정해진 온도에서 켜지거나 꺼집니다.
표준 바카라 필승법 공급 장치 사양
| 바카라 필승법 공급 장치 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 필수 | ||
| 펌프 온도 제어를위한 온도 설정 | － | 65 ℃, 75 ℃ | |
| 조합 호환성 | 펌프, 바카라 필승법 공급 장치 및 제어 케이블과 호환됩니다. | 펌프, 바카라 필승법 공급 장치, 제어 케이블, 온도 제어 케이블과 호환 | |
| 가변 회전 속도 | 운영 속도는 지정된 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | ||
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (MR-34) | |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | |||
| 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고 | 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고/temp.stable | ||
| Serial Interface | 전면 패널 : RS-232C (D-Sub 9 핀 수컷, 고정 브래킷 M2.6) | ||
| 후면 패널 : RS-485 (D-Sub 9-Pin Female, 고정 브래킷 M2.6) | |||
| 허용 가능한 주변 조건 | 온도 | 0 ~ 45 ° C 작동 (그러나 응축되지 않음) | |
| 습도 | 40 ~ 80 %RH | ||
| 입력 바카라 필승법 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V ± 10% (50/60 Hz) | |
| 전력 필수 | 1.5 kva | 2.0 kva | |
| 질량 | 8 kg | ||