표준 사양
| 터보 분자 바카라 주소*1 | TMP-X1205LM | ||
|---|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG150 | ISO160B | |
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | ||
| 압력 달성 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | ||
| AR에 대한 최대 허용 유량※ 2 *3 | 850 ml/min | ||
| N2작동 중 최대 흡입 압력 | 28 PA | ||
| N2작동 중 최대 배기 압력 | 266 PA | ||
| 배기 바카라 주소*4 | N2 | 1080 l/s | 950 l/s |
| ar | 1020 l/s | 890 L/S | |
| H2 | 710 l/s | 680 l/s | |
| 압축 비율 | N2 | 2 × 108 | |
| H2 | 8 × 102 | ||
| 지정된 회전 바카라 주소 | 37200 rpm | ||
| 시작 시간 | 8 분 이내 | ||
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | ||
| 진동 [측정 방법에 따라] | 0.01 μm 이하 (하나의 진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 흐름*2 | 30 ml/min | ||
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 바카라 주소 | 600 l/min 이상 | ||
| 허용 주변 온도 | 10 ~ 40 ℃ | ||
| 허용 된 바카라 주소 플럭스 밀도 | RADIUS | 3 MT | |
| 축 방향 | 15 MT | ||
| 냉각수 | 유량 | 3 l/min 이상 | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | ||
| 수온 | 19 ~ 30 ° C (이슬점 이상) | ||
| Display | 램프 | 전력/정상/알람 | |
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (D-Sub 25 핀 암 커넥터, 고정 브래킷 UNC 4-40) | |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | |||
| 출력 : 회전 / 정상 / 가바카라 주소 / 브레이크 / 원격 / 알람 / 경고 | |||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485 (2- 와이어) | ||
| 가변 회전 바카라 주소 | 작동 속도는 지정된 바카라 주소 회전 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | ||
| 입력 바카라 주소 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz) | |
| 전력 필수 | 0.75 kva | ||
| 질량 | 43 kg | ||
- *1 : 제품이 펌프가 분해 될 수 있으므로 부식성 가스를 흐르지 마십시오.
- *2 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *3 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 온도", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 출구 압력"에 따라 다릅니다.
- *4 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 바카라 주소는 VG150 : 1020 L/s 및 ISO160B : 900 L/s입니다.