자기 베어링 타입 터보 분자 펌프, 통합 온라인 바카라 공급 장치TMP-X1605

표준 사양

모델 TMP-X1605LM
흡기 측 플랜지 VG200/VG250/ISO200B/ISO250B
배기 KF40
배기 속도 N2 1400 l/s
ar 1330 l/s
지정된 회전 속도 37200 rpm
압력 달성 (베이킹 후) 10-7PA 주문
N2연속 가스 작동 중 최대 흡입 압력 26 PA
N2연속 가스 작동 중 최대 배기 압력 266 PA
시작 시간 8 분 이내
노이즈 57 DB (a) 이하
설치 방향 모든 방향으로 설치할 수 있습니다
권장 가스 퍼지 양 30 ml/min
허용 가능한 온라인 바카라 플럭스 밀도 반경 3 MT
축 방향 15 MT
냉각수 유량 3 l/min 이상
수압 0.2 ~ 0.5 MPa
수온 19-30 ° C (응축 없음)
가변 회전 속도 지정된 온라인 바카라 회전 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다
외부 커뮤니케이션 연락처 입력/출력 원격
Serial Communication RS-232C/RS-485/profibus (옵션)
냉각수 밸브 (3 방향 밸브) DC24V, 10W
비정상 역사 지난 99 가지 이상의 날짜와 시간과 탐지 세부 사항을 기억하십시오
온라인 바카라 공급 장치 전압 단상 200-240V ± 10% (50/60 Hz ± 2 Hz)
최대 전력 필수 0.75 kva
보호 등급 IP54
질량 41 kg
  • *보호 그물이없는 경우 값입니다.

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