표준 사양
| 터보 분자 바카라 주소*1 | TMP-V1704LM | |
|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG200 / ISO200B | |
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | |
| 냉각 방법 | 물 냉각 | |
| 압력 달성 압력 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | |
| AR의 최대 허용 유량※ 2 *3 | 600 ml/min | |
| N2연속 작동 중 최대 흡입 압력 | 4.5 PA | |
| N2연속 작동 중 최대 배기 압력 | 200 PA | |
| 배기 속도*4 | N2 | 1400 l/s |
| ar | 1350 l/s | |
| 압축 비율 | N2 | 1 × 108위 |
| he | 5 × 103 | |
| H2 | 9 × 102 | |
| 지정된 회전 속도 | 33700 rpm | |
| 시작 시간 | 9 분 이내 | |
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | |
| 진동 [측정 방법에 따라] | 0.01 μm 이하 (단일 진폭) | |
| 권장 가스 퍼지 흐름*2 | 30 ml/min | |
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 1500 l/min 이상 | |
| 허용 주변 온도 | 10 ~ 40 ℃ | |
| 허용 가능한 바카라 주소 플럭스 밀도 | Radius | 3 MT |
| 축 방향 | 15 MT | |
| 냉각수 | 유량 | 3 ~ 4 l/min |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 19 ~ 30 ° C (이슬점 이상) | |
| Display | 램프 | 바카라 주소/상태/회전/NET |
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (D-SUB 37 핀 암, 고정 브래킷 M2.6) |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | ||
| 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고/연결 | ||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485 (D-SUB 9-PIN MALE, 고정 브래킷 M2.6) | |
| 가변 회전 속도 | 작동 속도는 지정된 바카라 주소 회전 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | |
| 입력 바카라 주소 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz) |
| 전력 필수 | 1.2 kva | |
| 질량 | 60 kg | |
- *1 : 제품이 펌프가 분해 될 수 있으므로 부식성 가스를 흐르지 마십시오.
- *2 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *3 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 온도", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 출구 압력"에 따라 다릅니다.
- *4 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 속도는 1300 L/s입니다.