표준 사양
| 터보 분자 바카라 실시간 | TMP-X3405LMC | TMP-X3405LMTC | |
|---|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG300/ISO320B/VG350 | ||
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 물 냉각 | ||
| 압력 달성 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | ||
| AR의 최대 허용 유량 | 1300 ml/min※ 1 *2 | 800 ml/min (설정 바카라 실시간 : 65 ° C)*1 *4 | |
| N2연속 작동 중 최대 흡입 압력 | 40 PA | ||
| N2연속 작동 중 최대 배기 압력 | 270 PA | ||
| 배기 속도*3 | N2 | 3400 l/s | |
| ar | 3300 l/s | ||
| H2 | 2300 l/s | ||
| 압축 비율 | N2 | 2 × 108 | |
| H2 | 1 × 103 | ||
| 지정된 회전 속도 | 27600 rpm | ||
| 시작 시간 | 12 분 이내 | ||
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | ||
| 진동 [측정 방법에 따라서] | 0.05 μm 이하 (하나의 진폭) | ||
| 바카라 실시간 제어 세트 바카라 실시간 | - | 65 ℃, 75 ℃*5 | |
| 권장 가스 퍼지 흐름*1 | 30 ml/min | 30 ~ 100 ml/min | |
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 2000 l/min 이상 | ||
| 허용 주변 바카라 실시간 | 10 ~ 40 ℃ | ||
| 허용 가능한 바카라 실시간 플럭스 밀도 | Radius | 3 MT | |
| 축 방향 | 15 MT | ||
| 냉각수 | 유량 | 3 l/min 이상 | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | ||
| 수온 | 19 ~ 30 ° C (이슬점 이상) | ||
| display | 램프 | 바카라 실시간/회전/알람 | 전원/회전/temp.control/Alarm |
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (D-Sub 25 핀 암 커넥터, 고정 브래킷 UNC 4-40) | |
| 입력 : 시작/정지/재설정/저속 | |||
| 출력 : 회전/ 정상/ 가속/ 브레이크/ 원격/ 알람/ 경고 | 출력 : 회전/ 정상/ 가속/ 가속/ 브레이크/ 원격/ temp.stable/ alarm/ warning | ||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485 (2- 와이어) | ||
| 가변 회전 속도 | 작동 속도는 지정된 바카라 실시간 회전 속도의 25%와 100%로 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | ||
| 입력 바카라 실시간 공급 장치 | 전압 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz) | |
| 전력 필수 | 1.7 KVA | 2.1 kva | |
| 질량 | 89 kg | ||
- *1 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기에서의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *2 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 온도", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 출구 압력"에 따라 다릅니다.
- *3 : 보호 그물이 사용되지 않은 경우 값. n2가스의 배기 속도는 3000 L/s입니다.
- *4 : 최대 허용 유량은 "가스 유형", "흡기 플랜지에 연결된 플랜지의 온도", "펌프 세트 온도", "가스 퍼지 유량 속도"및 "배기 아울렛 압력"에 따라 다릅니다.
- *5 : 온도 센서의 모니터 값을 사용하여 펌프 온도 제어 밸브에 의해 냉각수가 켜지는 온도입니다. 히터는 -1 ° C의 정해진 온도에서 켜지거나 꺼집니다.