표준 사양
| 터보 분자 바카라 사이트 추천*1 | TMP-V4404LMW | |
|---|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | VG350 | |
| 배기 벤트 플랜지 | KF40 | |
| 냉각 방법 | 물 냉각 | |
| 압력 달성 (베이킹 후) | 10-7PA 주문 | |
| AR에 대한 최대 허용 유량※ 2 *3 | 1450 ml/min | |
| N2연속 작동 중 최대 흡입 압력*3 | 40 PA | |
| N2연속 작동 중 최대 배기 압력*3 | 170 PA | |
| 배기 속도*4 | N2 | 4050 l/s |
| ar | 4300 l/s | |
| 압축 비율 | N2 | 1.5 × 107 |
| HE | 4.0 × 103 | |
| H2 | 4.4 × 102 | |
| 지정된 회전 번호 | 24000 rpm | |
| 시작 시간 | 12 분 이내 | |
| 설치 방향 | 모든 방향으로 설치할 수 있습니다 | |
| 진동 [측정 방법에 따라서] | 0.01 μm 이하 (단일 진폭) | |
| 권장 가스 퍼지 유량*2 | 30 ml/min | |
| 가스 퍼지시 권장 보조 펌프 배기 속도 | 1500 l/min 이상 | |
| 허용 주변 온도 | 10 ~ 40 ℃ | |
| 허용 가능한 바카라 사이트 추천 플럭스 밀도 | RADIUS | 3 MT |
| 축 방향 | 15 MT | |
| 냉각수*5 | 유량 | 3 ~ 4 l/min |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 19 ~ 30 ° C (이슬점 이상) | |
| Display | 램프 | 바카라 사이트 추천/상태/회전/NET |
| 외부 제어 | 연락처 입력/출력 | 원격 (D-Sub 25 핀 암, 고정 브래킷 #4-40unc) |
| 입력 : 시작 / 정지 / 재설정 / 저속 / | ||
| 출력 : 회전/acc./브레이크/정상/원격/알람/경고/연결 | ||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485 (D-SUB 9-PIN MALE, 고정 브래킷 #4-40UNC) | |
| 가변 회전 속도 | 지정된 바카라 사이트 추천 회전 속도 75%와 100% 사이에서 작동 속도를 변경할 수 있습니다. (설정은 0.1% 단위) | |
| 입력 바카라 사이트 추천 공급 장치 | 전압*6 | 단일 상 AC 200-240 V (50/60 Hz) |
| 전력 필수 | 1.2 kva | |
| 질량 | 98 kg | |
- *1 : 제품으로 인해 펌프가 분해 될 수 있으므로 부식성 가스를 흐르지 마십시오.
- *2 : ml/min은 0 ° C 및 1 대기의 부피 유량으로 표현됩니다. (SCCM 표기법에 해당합니다.)
- *3 : 최대 흡입 압력, 최대 배기 압력 및 최대 허용 유량 조건은 동시에 충족 될 수 없습니다.
- *4 : 보호 된 그물이 포함 된 경우 값.
- *5 : 수온은 비전이어야합니다.
- *6 : 임시 전압 변동 공차 범위 : ± 10%, 임시 주파수 변동 공차 범위 : 2 Hz