HSR-351L (로드 잠금 유형)
HSR-351
| 제작 필름 | 금속 재료, 절연체 |
|---|---|
| 막 압력 분포 | 회전시, φ100mm 내에서 ± 5% 이내 |
| 정적, φ40mm 이내 ± 10% 이내 | |
| 스퍼터링 방법 | Depot up |
| Interdevices 거리 | 70-110mm |
| 대상 홀더 | φ2 인치 x 3 |
| 히터 | max300 ℃ |
| 보드 회전 | max20RPM |
| 가스 유도 시스템 | 1 MFC AR |
| 고주파 전원 공급 바카라 안전 사이트 | 13.56MHz 200W |
HSR-351L (로드 잠금 유형)
HSR-351
| 제작 필름 | 금속 재료, 절연체 |
|---|---|
| 막 압력 분포 | 회전시, φ100mm 내에서 ± 5% 이내 |
| 정적, φ40mm 이내 ± 10% 이내 | |
| 스퍼터링 방법 | Depot up |
| Interdevices 거리 | 70-110mm |
| 대상 홀더 | φ2 인치 x 3 |
| 히터 | max300 ℃ |
| 보드 회전 | max20RPM |
| 가스 유도 시스템 | 1 MFC AR |
| 고주파 전원 공급 바카라 안전 사이트 | 13.56MHz 200W |