우리는 스마트 폰, 태양 전지 및 유기농 EL과 같은 터치 패널과 같은 관심을 끌고있는 지역에서 사용되는 ITO 필름의 연구 및 개발에 이상적인 바카라 사이트 쿠폰 장비를 제공합니다.
| 풋 프린트 | W2420 × D1230 (높이 1550mm) | ||
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| 사양 | 바카라 사이트 쿠폰 성능 | 제작 필름 | 비자 성 금속, 투명 전도성 필름 등 |
| 필름 두께 분포 | □ 100mm 내에서 ± 5% 이하 (100nm의 ITO 필름 두께) | ||
| 시트 저항 분포 | □ 100mm 내에서 ± 5% 이하 (100nm의 ITO 필름 두께) | ||
| 시트 저항 | 50Ω/□ (100nm의 ITO 필름 두께에서) | ||
| 바카라 사이트 쿠폰 방법 | Sputter Up | ||
| 방전 모드 | 고주파 또는 DC 마그네트론 방전 (중첩 될 수 있음) | ||
| 대상 | 3 4 인치 | ||
| 바카라 사이트 쿠폰 가스 | AR, O2 | ||
| 기본 크기 | 125mm x 125mm x 0.7-5mm, 1 유리 기판 | ||
| 기질 난방 | 최대 온도 | 350 | |
| 온도 분포 | 100-300 ° C, ± 5 ° C 이내 | ||
| 보드 회전 | 20rpm | ||
| 압력 달성 | 바카라 사이트 쿠폰 룸 | 1.0 × 10-4PA 이하 (실온, 부하, N2 누출시) | |
| 배기 시간 | Roadlock Room | 대기압에서 10PA까지 2 분 (실내 온도, 하중 없음, N2 누출시) |
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| 바카라 사이트 쿠폰 룸 | 1 시간 이내에 대기압에서 1.3 × 10-3PA (실내 온도, 하중 없음, N2 누출시) |
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| 작동 모드 | 자동/수동 모드 | ||
| 전원 공급 장치 | φ3 AC200V 50/60Hz 13KVA | ||