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스테핑 모터의 마이크로 스테프 드라이브 제어
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바카라 사이트 쿠폰 Review 54 [2] 129-134 (1997 년 8 월)
요약
산업 외국 물질 마이크로 샘플링 및 바이오 기반 미세 조작을위한 미세 조작 장치 인 Shimadzu 마이크로 매니 투과 시스템 MMS-77은 마이크로 인스토리를 작동하는 3 차원 암 섹션에서 스테핑 모터의 마이크로 스테프 드라이브 제어를 사용합니다. 스테핑 모터 와인딩에 공급되는 구동 전류가 약간 증가하거나 감소하고 스텝핑 모터에 고유 한 스텝 각도보다 작은 각도로 회전하는 구동 방법을 마이크로 스테프 드라이브 제어라고합니다. 이를 통해 구동 피치가 0.1 μm 인 소형 고해상도 포지셔닝 메커니즘을 사용하여 높은 강성을 달성하여 스텝 각도의 지속적인 변화와 3000 배 속도 범위의 1 μm/s ~ 3mm/s를 달성하는 동시에 잠재적으로 튜닝 외의 회전 제어 시스템을 피하기 위해 제어를 구현합니다.
1생산 기술 연구소
2생명 과학 장비 부서, 기술 부서
3기술 부서 기술부
4Kokusai 생산 기술 연구소
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
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