바카라 추천 Review Vol.54 [2] (1997)
특수 기능 시스템, 컨트롤, 네트워크

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바카라 추천 Review 54 [2] 135-142 (1997 년 8 월)

요약

DLC 필름은 경도, 마모 저항, 부식 저항, 전압 저항, 단열성 및 화학적 안정성과 같은 우수한 특성을 가지고 있으며, 고성능 재료 중 하나로 관심을 끌고 있습니다. 저자는 RF 바이어스 ECR 플라즈마 CVD를 바카라 추천하여 원료 가스로서 에틸렌을 바카라 추천하여 DLC 필름을 형성했는데, 이는 단열 기질에 퇴적 될 수 있으며, Knoop 경도, 라만 스펙트럼, 필름의 수소 농도 등을 바카라 추천하여 필름 품질을 평가할 수 있습니다. 스퍼터링 장치와 RF 바이어스 ECR 플라즈마 CVD 장치를 하나의 장치로 결합한 유형. 또한,이 장치를 바카라 추천하여 형성된 필름의 평활도를 검사 하였다.

¹Kyoto Kouhiro, 생산 기술 연구소 반도체 제조 기술 개발 센터
²산업 기계 부서 산업 기계 제조 부서
³항공 장비 비즈니스 부서 항공 장비 공장 리히로
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