특별 에세이
배터리가없는 자기 베어링 터보 분자 바카라
바카라 Review 55 [1] 3-10 (1998.8)
요약
저자들은 1996 년에 자기 베어링을 사용하여 일련의 터보 분자 바카라를 개발하여 반도체 및 액정 제조 공정에 필요한 높은 신뢰성을 충족시켰다. 190 L/s에서 3200 L/s 범위의 배기 속도를 가진 8 가지 모델과 배터리가 필요하지 않은 폭이 1/2 랙 크기의 전원 공급 장치가 개발되어 전원 공급 장치의 유지 보수가 필요하지 않습니다. 또한, 하나의 바카라는 동시에 10 (-9) PA의 주문에 대한 오일 압력과 10 (-1) ~ 10pa의 진공에서 큰 흐름 변위를 달성했습니다. 로터 블레이드는 통합 알루미늄 유형의 단조 재료로 만들어졌으며, 이는 케이블과 바카라가 교체 되더라도 전원 공급 장치를 재조정 할 필요가 없으므로 유지 보수를 향상시킬 필요가 없습니다. 또한 예방 유지 보수의 관점에서 RS-232C 호환 인터페이스는 표준으로 장착되어 로터 속도 및 모터 전류의 외부 모니터링이 가능합니다. 또한, 바카라에 히터가있는 유형과 전원 공급 장치에 첨가 된 온도 제어 장치가 제공되어 건조 에칭 동안 반응 부산물의 접착력이 줄어 듭니다.
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
1바카라 기계 부서 바카라 기계 제조 부서
*바카라 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점에 있습니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.