Shimazu Review Vol. 55 [1] (1998)
특별 기능 산업 장비 II

일반 종이

X- 선 바카라 실시간에 의한 석면의 정량 분석

Sekiguchi Haruo1

Shimazu Review 55 [1] 77-81 (1998 년 8 월)

요약

우리는 X- 선 바카라 실시간 방법을 사용하여 석면의 정량적 분석에서 측정 정확도의 평가와이를 향상시키는 방법을 조사했습니다. 측정 샘플로서, 석면의 전형적인 미네랄 인 크라이 소의 표준 샘플을 사용하여 콘텐츠가 0.5 ~ 20%인 캘리브레이션 곡선 샘플을 준비 하였다. 바카라 실시간 라인에 스텝 스캐닝 방법을 사용하여 측정 정확도를 향상시키는 요인을 조사하고 다음을 찾았습니다.

  1. 회전 스윙 방법의 교정 곡선, 회전 방법 및 고정 방법의 캘리브레이션 곡선에서 선형성의 정확도를 비교했습니다. 정확도 값 (단위 :%) σd = 0.22, σd = 0.31 및 σd = 0.63이 각각 얻어졌습니다.
  2. 측정 된 값의 신뢰성은 회전 진동 방법을 바카라 실시간하여 1% 샘플 당 10 배의 리필 재현성과 1.149 ± 0.044%의 신뢰 한계로부터 결정되었다.
  3. 컨텐츠가 낮은 샘플에 대한 큰 통합 시간을 설정하는 것이 효과적이며, 1%의 함량이있는 표준 샘플에서 찾은 결과, 검출 한계는 0.42%로 얻어졌습니다. 또한, 실제 측정 된 바카라 실시간 패턴에서, 함량이 0.5% 인 바카라 실시간 라인이 확인되었다.

이 측정에서, 회전 진동 방법은 교정 곡선의 정확도를 향상시키는 방법으로 고정 및 회전 방법에 비해 효과적이며, 회전과의 스윙은 측정 정확도를 증가시키는 것으로 밝혀졌다. 또한, 낮은 컨텐츠 샘플에 대한 측정 된 값의 신뢰성 및 검출 한계를 증가시키기 위해, 측정 조건을 설정할 때 각 단계의 통합 시간을 증가 시키면 바카라 실시간 선 강도의 통계적 변화가 감소하고 측정 된 값의 신뢰성이 증가한다는 것이 밝혀졌다.


1표면/반도체 장비 섹션
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.

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