특별 에세이
Shimazu Review 55 [3/4] 235-247 (3/1999.3)
요약
LSI가 소형화되면서 평면화 기술이 제조 공정에서 더욱 중요 해지고 있습니다. 현재 대량 생산에서 16m- 및 64m-drams는 BPSG 바카라 룰 리플 로우 기술을 사용하여 인터레이어 절연 바카라 룰을 평면화합니다. 이 반사 특성은 막에 포함 된 붕소와 인의 농도 및 깊이 분포에 의존한다. 저자는 고속 및 편의성의 장점을 갖는 글로우 배출 방출 분광 분석기 (GDS)를 기반으로하는 BPSG 테스터 GDLS-9955, BPSG 바카라 룰 품질 관리 (QC) 검사 장치를 개발했으며,이면서에서 붕소 및 포스 포러스의 농도 분포를 동시에 측정 할 수 있습니다.
이 장치는 QC를 현장에서 빠르고 쉽게 판단 할 수 있도록 8 인치 웨이퍼 용 자동 전송 및 자동 측정 시스템을 구성했습니다. 또한, 절연 바카라 룰 및 LSI의 신뢰성에 영향을 미치는 수소를 측정 할 수 있으며, BPSG 바카라 룰, 배선 바카라 룰 및 커패시터 바카라 룰 이외의 절연 바카라 룰을 포함하여 다양한 바카라 룰 형성 공정의 평가에 널리 적용될 수있다. 이 기사는 시스템의 개요와 이러한 응용 프로그램의 예에 대해보고합니다.
1기본 기술 연구소
2표면/반도체 장비 섹션
3소프트웨어 개발 센터
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.