특별 에세이
Shimazu Review 55 [3/4] 259-269 (3/1999)
요약
우리는 원자 층 모니터 장치 바카라 필승법9700을 개발했는데, 이는 소위 충격 이온 산란 분광법 (CAICISS)의 원리를 사용하여 박막 성장 공정 동안 가장 많은 표면 원자 종을 모니터링했습니다. 바카라 필승법9700은 이전 CAICISS-I보다 작고 높은 성능 모델입니다. 본체의 외부 치수는 382 x 512 x 170 (l x h x w, mm)이고 무게는 15 kg이며, 이는 전통적인 CAICISS-I에 비해 약 1/50, 체중 비율이 약 1/20으로 성공적으로 소형화되었습니다. 이것은 필름 증착 장치에 하나의 CF70 플랜지 포트가 있다면 어떤 방향 으로든 부착 될 수 있다는 이점이 있습니다.
바카라 필승법9700은 MBE 및 레이저 MBE를 사용한 반도체, 산화물, 질화물 및 금속과 같은 다양한 박막 성장 공정의 현장 관찰에 적합하며, 특히 표면 원자 층을 관찰하고 영화 형성 동안 성장 메커니즘을 평가하고 제어하는데 특히 효과적이다. 또한 성장 후 박막의 구조적 측면을 분석 할 수 있으므로 박막의 가장 표면에 대한 질적 및 정량적 분석을위한 매우 강력한 장치가됩니다.
이 논문은 이러한 다양한 기능을 갖는 개발 개념과 바카라 필승법9700의 적용에 대해보고합니다.
1표면/바카라 필승법 장비 섹션
2기본 기술 연구소 연구소 Kohiro
3표면/바카라 필승법 장비 부서 Kohiro
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.