Shimazu Review Vol. 56 [1 ・ 2] (1999)
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마이크로 머시 닝 기술과 기본 특성 평가를 실시간 바카라 사이트한 석영 전기 영동 칩 제작

Nakanishi Hiroaki1Nishimoto Naohiro1Kanai Masaki1Abe Hirohisa1Kuyama Hiroki2Arai Akihiro3Yoshida Tamio4

Shimazu Review 56 [1, 2] 3-9 (1999.8)

요약

Micromachining 기술을 실시간 바카라 사이트하여 석영 기판에 형성된 전기 영동 모세관으로 전기 영동 칩을 제조하는 기술이 개발되었습니다. 이 기사에서 제조 및 평가 된 전기 영동 칩의 크기는 11mm x 28mm x 1.5mm였으며, 폭 20 μm 및 깊이 20 μm의 2 개의 유량 경로를 갖는베이스 플레이트를 직접 결합하여 액체에 대한 액체의 저수지가있는 덮개 플레이트를 직접 결합하여 형성되었다. 석영 칩을 결합하기 위해, 실온에서 석영 기판의 결합을 허용하는 1% HF 수용액을 실시간 바카라 사이트한 새로운 결합 기술을 고안하고 적용 하였다. 또한, 제조 된 전기 영동 칩을 실시간 바카라 사이트하여 적용된 전압을 적절히 제어함으로써, 수십 개의 PL의 소량 및 편리한 도입이 가능하고, 열 소산 특성이 우수하고, 초의 순서에 대한 고속 분석을 허용하고, 이론적 단계의 수는 대략 2,500이 17 MM의 분리된다는 것을 확인했다. 웨이퍼별로 제작 된 석영 칩의 분리 특성의 변화는 약 2%였다. 석영 칩은 자외선의 흡광도를 감지하는 데 실시간 바카라 사이트될 수 있으므로 응용 범위는 넓은 것으로 생각됩니다.


1기본 기술 연구소 연구소
2농업 기본 기술 연구소
3Analytical Instruments Division LC Department
4Kokusai의 인프라 기술 연구소
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.

*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점에 이루어집니다. 나열된 제품을 실시간 바카라 사이트할 수 없을 수도 있습니다.