특별 에세이
에볼루션 바카라 Review 57 [1, 2] 97-101 (2000.8)
요약
Shimadzu Seisakusho는 높은 진공 영역뿐만 아니라 0.1 ~ 10 PA의 진공 영역에서 대량의 가스를 제공하는 높은 배기 성능을 제공하는 일련의 고 유량 변위 터보 분자 펌프를 개발했습니다. Shimadzu는 고성분을 대상으로 한 일련의 유동적 인 디스플레이를위한 반 도조와 액체 결정 과정의 수요를 충족시키기 위해, Shimadzu는 일련의 유량을 달성하기 위해, Shimadzu. 진공 면적뿐만 아니라 0.1 ~ 10 pa의 진공 면적의 대량의 가스의 경우, 이러한 터보 분자 펌프의 개발을 위해서는 터빈 블레이드 및 나사 그루브 형태의 설계를 최적화하기위한 배기 성능 에볼루션 바카라 기술이 필수적입니다. Shimadzu는 분자 흐름 영역뿐만 아니라 전이 흐름 영역과도 호환되는 배기 성능 에볼루션 바카라 기술을 확립했으며 실제 시리즈 제품 개발에 사용되었습니다.
대형 흐름 변위 터보 분자 펌프는 터빈 블레이드 섹션과 나사산 그루브 섹션으로 구성되며 펌프의 전반적인 특성을 이해하려면 결합 된 펌프로 에볼루션 바카라해야합니다. 이 시간에 설정된 에볼루션 바카라 방법은 2 차원 캐스케이드에서 적분 방정식 방법을 사용하여 계산 결과에 수정을 적용하여 펌프의 각 단계에서 최대 압축 비율과 최대 배기 속도를 계산하는 것입니다. 이 계산 방법의 결과는 분자와 전이 흐름 사이의 실제 측정 성능과 잘 일치합니다.
1소프트웨어 개발 센터
2기술 부서 산업 기계 부서
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*에볼루션 바카라 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시간입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.