특별 에세이
Shimazu Review 58 [1, 2] 11-16 (2001.12)
요약
저자들은 백 안전한 바카라 사이트와 함께 사용되는 자기 베어링 타입 터보 분자 안전한 바카라 사이트를 상용화하여 진공 용기의 내부를 매우 높은 진공 상태로 배출했습니다.
반도체 제조 공정이 점점 더 세밀하게 가공되고 웨이퍼 크기가 커지면 (300mm) 고속 고속 배기 배기 가스를 수용 할 수있는 터보 분자 안전한 바카라 사이트에 대한 수요가 증가하여 큰 유량을 대체 할 수있는 새로운 시리즈를 도입했습니다.
실제 기계의 프로토 타입 전에 날개 모양 설계 시뮬레이션 기술이 설정되어 대상 가스 배기 흐름 특성을 달성 할 수 있는지 고려할 수 있습니다.
터보 분자 안전한 바카라 사이트의 로터 블레이드는 복잡한 모양을 가지며 고속으로 회전되므로 안전을 보장하기 위해서는 큰 흐름 변위 동안 로터 온도를 줄여야합니다. 부식성 가스 배기 응용에 대한 개선 된 부식 저항에 대한 요구도있다. 우리는 로터 온도를 줄이고 부식 저항을 향상시키는 분산 도금 기술을 개발했습니다.
정격 회전 속도 설정을 변경할 수있는 전원 공급 장치에 새 안전한 바카라 사이트이 추가되었습니다.
기능은 안전한 바카라 사이트와 전원 공급 장치 장치가 이전 모델보다 크지 않아 큰 흐름 변위가 가능하다는 것입니다.
1산업 기계 부서, 기술 부서
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점과 같습니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.