특별 에세이

Shimazu Review 58 [1, 2] 59-66 (2001.12)

요약

우리는 하드 디스크에 대한 GMR 헤드 보호 바카라 사이트 쿠폰을위한 복합 바카라 사이트 쿠폰 증착 장치 (DLC-MR3)의 개발에 대해보고합니다. 이 장치는 세 가지 유형의 다이아몬드 유사 탄소 (DLC) 바카라 사이트 쿠폰 형성 방법 [ECR 플라즈마 CVD (ECR-CVD), IN 빔 증발 (IBD), CATHODIC ARC (FCVA)], AR 스퍼터 에치를 사용하여 Si 접착층의 표면 세정 및 증착을 수행 할 수 있습니다.

저자들은 또한 초현대 영화 (3 nm 미만)를 실현하기위한 바카라 사이트 쿠폰 증착 프로세스를 개발했습니다. 이를 위해서는 초박형 바카라 사이트 쿠폰을 평가하는 기술이 필요하며 Shimadzu Corporation의 다양한 분석 장비가 중요한 역할을했습니다.

이 논문은 예를 들어 3 NM DLC 바카라 사이트 쿠폰의 접착 평가를 소개합니다.

¹기술 부서 산업 기계 부서
²산업 기계 부서 품질 보증 부서
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.

*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.