특별 에세이

Shimazu Review 60 [1, 2] 69-86 (2003.11)

요약

숫자 시뮬레이션 기술은 바카라 규칙 현미경과 같은 바카라 규칙 광학 시스템의 설계에 필수적입니다. 수치 계산 방법을 사용하면 바카라 규칙 렌즈 배럴 개발과 관련된 시간, 노력 및 비용이 크게 줄어들고 수치 시뮬레이션을 사용 하여만 설계 할 수있는 많은 광학 시스템이 있습니다. 그러나, 전송 광학 시스템 (렌즈 시스템)을위한 확립 된 방법이 있지만, 바카라 규칙 공급원은 수학적으로 다루기가 어렵고, 현재까지 바카라 규칙 건 특성 분석을위한 실용적이고 정량적 인 방법은 없었다.
이 논문에서, 우리는 바카라 규칙 건 내에서 대표적인 바카라 규칙 궤적을 계산하고, 여기에서 "바카라 규칙 건 초점 길이"를 찾은 다음, 음극 표면에서 바카라 규칙 밀도 함수와 결합하여 바카라 규칙 공급원의 특성을 평가하기위한 잘 생긴 방법을 제안했습니다 (교차). 크로스 오버 직경과 같은 실험 결과는 계산을 통해 얻은 "휘도 분포"데이터를 사용하여 설명 할 수 있음을 확인했습니다.
제안 된 방법을 사용하여 바카라 규칙 소스 특성을 평가하면 수치 시뮬레이션을 통해 샘플을 통해 샘플을 통해 바카라 규칙 건에서 렌즈 시스템으로의 빔 특성을 파악할 수 있으며 최종 프로브 특성 (샘플 전류와 프로브 직경 간의 관계)을 계산할 수 있습니다. 매우 다른 특성을 갖는 2 개의 바카라 규칙 건, 열전 총 및 쇼트키 이미 터가 프로브 형성 2 단계 렌즈 시스템과 함께 사용되었을 때, 그리고이 거동이 나타난 이유가 드러났을 때 예상되는 프로브 특성이 예상되었다.

¹디자인 기술 센터
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.

*Shimazu 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.