특별 에세이
페라이트 박막 용 ECR 스퍼터링 장치
바카라 Review 62 [1, 2] 3-8 (2005.9)
요약
지역 활성화 컨소시엄 (2001 년 이후 3 년)은 NI-ZN 페라이트 박막을위한 ECR 스퍼터링 장치를 개발했으며, 이는 고주파 통신 장치의 재료로 관심을 끌고 있으며, 고품질 NI-Zn 페라이트 박막의 저온 필름을 성공적으로 형성하여 (400) 표면 결정 구조를 성공적으로 형성했습니다. 이 성과에 대한 응답으로, 우리는 2005 회계 연도에 대량 생산 된 SLC-1600 (6 인치) 장치를 개발하여 평면 내 필름 두께 분포 및 필름 두께 재현성을 ± 1% 이하로 달성했으며 개발이 완료되었습니다.
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