특별 에세이
최근의 자기장 터보 분자 펌프
바카라 게임 사이트 Review 62 [1, 2] 27-33 (2005.9)
요약
Shimadzu Corporation은 중공 진공 영역에서 우수한 초고속 진공 배기 성능과 대형 흐름 변위 성능을 결합한 자기 부상 유형 터보 분자 펌프를 상용화했습니다. 이 기사는 최근에 개발 된 두 개의 터보 분자 펌프를 소개 할 것입니다. 높은 배기 속도와 높은 백 압력을 수용 할 수있는 두 개의 터보 분자 펌프와 바카라 게임 사이트 및 FPD 제조 장비의 응용 분야에 중점을 둔이 펌프를 구동하기위한 디지털 제어 전원 공급 시스템을 소개합니다. 큰 배기 속도를지지하는 터보 분자 펌프는 아르곤 가스의 배기 속도가 4000l/s입니다. 높은 배압을지지하는 터보 분자 펌프는 아르곤 가스 유속이 2000 ml/min (0 ° C, 1 대기)의 아르곤 가스 유속을 가지며, 배기 가로가 압력이 1,330 pa 일 때 배압이 1,330 pa입니다. 또한 디지털 제어 전원 공급 시스템은 포괄적 인 예방 유지 보수 기능을 갖습니다.
1기술 부서의 바카라 게임 사이트 장비 부서
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*바카라 게임 사이트 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점에서입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.