특별 에세이
울트라 고해상도 스캐닝 전자 현미경
라이브 바카라 Review 62 [3/4] 167-171 (2006 년 3 월)
요약
우리는 낮은 수차, 특히 낮은 에너지 프로브 측정을 나타내는 고해상도 전자 현미경을 라이브 바카라했습니다. 이 현미경은 또한 새로운 기술의 라이브 바카라 벤치로 사용될 것이며, 단색 수차를 제거하고 비 절제 광학 시스템을 라이브 바카라하기 위해 단색으로 전자 공급원을 라이브 바카라하는 데 사용될 것입니다. 렌즈 배럴은 간단한 2 렌즈 구조를 가지며, 수차 단일 극 스노클링 대물 렌즈와 응축기 렌즈로 구성되어 있으며, 크로스 포인트가없는 평행 빔의 광학 시스템입니다. 따라서, 낮은 에너지에서도 공간 전하의 영향을 피하고 좋은 이미지를 얻을 수 있습니다. 성능 평가는 1kev 및 15kev의 전자 빔을 사용하여 수행되며, 획득 된 이미지의 평가에 기초하여, 1kev의 경우 4nm 미만의 전자 빔 프로브 직경 및 15kev의 경우 1nm가 달성된다.
1Shimadzu Research Laboratory (Europe) Ltd.
2해외 연구 센터 지원 센터
*제휴 이름은 논문을 작성할 때의 이름입니다.
*라이브 바카라 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.