라이브 바카라 Review Vol.66 [1 ​​・ 2] (2009)
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특별 에세이

이미지 처리를 사용한 액정 패널의 결함 검사

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라이브 바카라 Review 66 [1, 2] 87-91 (2009.9)

요약

최근 액정 패널의 증가로 TFT 어레이를 2 차 전자 이미지로 검사하는 Pixelscope는 또한 더 높은 정확도와 빠른 검사를 수용하기 위해 필요했습니다. 특히, 결함을 감지하기 위해 검사 이미지를 처리하는 개선 된 이미지 처리 알고리즘이 필요했습니다. 따라서, 위상 채널 분리 방법을 사용하여 새로운 결함 감지 알고리즘이 라이브 바카라되어 전보다 더 높은 정확도와 빠른 속도로 결함 감지 처리를 가능하게했다.


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