특별 에세이
모든 고체 상태 깊은 UV 펄스 바카라 규칙 및 응용 프로그램 개발
바카라 규칙 Review 69 [3/4] 293-302 (2013.3)
요약
266 nm의 파장을 갖는 모든 고형 상태 깊은 자외선 (DUV) 펄스 바카라 규칙는 바카라 규칙 다 광자 이온화의 광원으로 개발되었습니다. 바카라 규칙의 단축으로 인해 높은 피크 전력을 얻기 위해, 우리는 더 짧은 펄스를 달성하는 것을 목표로하는 외부 공진기의 제 2 고조파 생성 방법과 더 높은 효율을 달성하는 것을 목표로하는 두 번째 고조파 생성 방법을 사용하여 녹색 펄스 생성을 조사했습니다. 두 방법 모두에서, 10kW 이상의 피크 전력을 갖는 266 nm 광학 펄스가 1kHz 이상의 반복 주파수에서 얻어졌다. 개발 된 DUV 바카라 규칙는 FIB 광 이온화 나노 매스 이미징 장치에 설치되었으며, 광 이온화에 의한 유기물 매핑은 실제 측정 시간 동안 성공적으로 얻어졌다. 또한 진동 파장 범위를 확장하기 위해이 바카라 규칙를 여기 바카라 규칙로 사용하여 조정 가능한 바카라 규칙 적용을 수행했습니다.
1장치 부서 센서 및 장치 사업부, PhD (Science)
2장치 부서 센서 및 장치 사업 단위
3대학 자연 과학 연구소, 대학 공동 사용기구, Corporation
*바카라 규칙 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.