특별 에세이
표면파 플라즈마 CVD 방법을 바카라 규칙하는 유기 EL에 대한 투명한 밀봉 필름 개발
바카라 규칙 Review 69 [3/4] 303-312 (2013.3)
요약
Wave Plasma CVD 방법은 수증기 투과성을 만듭니다. 10-6g/m2우리는 기본 기판을 손상시키지 않으면 서 100 ° C 미만의 저온 공정에 의해 우수한 장벽 특성과/d 미만의 투명성을 가진 sinx 필름을 성공적으로 형성했습니다. 또한, 획득 된 SINX 필름은 유기 EL 장치의 밀봉 필름으로 바카라 규칙되었고, 구조는 신뢰성 가속도의 평가에 의해 최적화되었으며, 결과적으로, 정상 온도 및 정상 습도 조건에서 50,000 시간 이상을 열화하지 않는 밀봉 필름이 얻어졌다.
1새로운 기술 단위, 엔지니어링 박사
2기술 부서의 반도체 장비 부서
*바카라 규칙 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점과 같습니다. 나열된 제품을 바카라 규칙할 수 없을 수도 있습니다.