바카라 사이트 주소 Review Vol.72 [3 ・ 4] (2015)
특별 기능 고급 바카라 사이트 주소 개발

특별 에세이

EPMA-8050G의 개발
최고의 EPMA에 대한 필드 배출 전자 건

후지타 마코토1Sakamae Hiroshi2Hayashi Koji2

바카라 사이트 주소 Review 72 [3/4] 179-193 (2016.3)

요약

SEM (Scanning Electron Microscope)도 형태 학적 관찰뿐만 아니라 EDS (Energy Dispersive X-Ray 분광계)를 사용한 미세 영역 요소 분석이 널리 수행된다. 그러나, 검출 감도는 낮으며, 우수한 감지 한계 및 정량적 정확도를 갖는 WDS (파장 분산 X- 선 분광계)를 사용하는 EPMA (전자 프로브 마이크로 분석기)와 함께 분석이 필요한 영역이 많이있다. EPMA의 도전은 SEM보다 열등한 공간 분해능이었다. 추적 요소 분석에는 큰 빔 전류가 필요하기 때문에 바카라 사이트 주소적으로 마이크로 프로브를 형성하기가 어려웠습니다. 이 문제를 극복하기 위해, EPMA-8050G는 Fe (필드 방출 캐소드) 전자 광학 시스템이 장착되어 개발되었다. 이 기사는 마이크로 암피어 수준에서 큰 빔 전류에서 마이크로 프로브 형성과 같은 EPMA의 고유 한 요구 사항을 충족시키는 전기 광학 설계 바카라 사이트 주소을 설명하고, EPMA-8050G에서 처음으로 가능한 고감도/고 공간 해상도 매핑 분석의 예를 소개합니다.


1분석 측정 부서 바카라 사이트 주소 부서의 의사 (엔지니어링)
2분석 측정 부서 X- 레이/표면 사업 단위

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