바카라 실시간 Review Vol.73 [3 ・ 4] (2016)
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특별 에세이

건조 펌프가 내장 된 헬륨 누출 감지기 개발

Igawa Akio1Nishihara Takaji1

바카라 실시간 Review 73 [3/4] 113-116 (2017.3)

요약

헬륨 누출 감지기에 설치된 두 가지 주요 유형의 진공 펌프가 있지만 오일 로터리 진공 펌프의 경우 배기 포트에서 오일 미스트가 배출되며 스크롤 유형의 마른 진공 펌프의 경우 펌프 내부의 슬라이딩 부품에 대한 마모로 인해 깨끗한 실내에서 사용됩니다. 또 다른 중요한 문제는 깨끗한 방에서 바카라 실시간의 발자국 (설치 영역)을 줄이는 방법입니다. 따라서 배기 포트에서 먼지를 배출하지 않고 기존 휴대용 모델과 동일한 발자국으로 개발 및 상용화 된 건조 펌프가 내장 된 MSE-2201S 모델을 소개합니다.


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