특별 에세이
LIBS 기술을 바카라한 미량 금속 불순물 모니터 개발
바카라 Review 74 [3/4] 177-183 (2018.3)
요약
"레이저 유도 분해 분광법"(LIBS)을 바카라한 반도체 제조 공정을위한 개발 및 상용화 된 트레이스 금속 불순물 모니터.
이 장치는 반도체 제조 공정에서 외국 물질과 금속 부착에 바카라되는 세척 과정에 바카라되는 세척제에서 미량 금속 요소를 감지하고 금속의 농도를 측정 할 수있는 장치입니다. 이 장치를 바카라하여 세척 과정에서 세정 용액에 포함 된 금속 농도를 모니터링하고 바카라 된 청소 용액의 양과 교환 빈도를 줄이고 청소 용액 교체시기를 예측하여 공정을 제어 할 수 있도록 할 수 있습니다. 바카라 된 청소 액체의 양을 줄이면 폐기물의 양이 줄어들어 환경 영향을 줄이는 데 기여합니다.
이 기사는이 바카라의 개발 배경, 바카라의 개요 및 구성, 금속 탐지의 예 및 향후 개발에 대해보고합니다.
1바카라 디비전 센서 및 바카라 사업 단위
2바카라 부서 센서 및 바카라 사업부, PhD (엔지니어링)
3바카라 섹션
4기본 기술 연구소 광학 기술 단위
*바카라 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점에서입니다. 나열된 제품을 바카라할 수 없을 수도 있습니다.