특별 에세이
질량 분석기를위한 이중 입구 터보 분자 펌프 개발
실시간 바카라 Review 78 [1, 2] 3-10 (2021.9)
요약
Shimadzu Corporation은 분석 및 측정 장비 시장, 일반 진공 실시간 바카라 시장 및 대학 및 연구 연구소 시장을위한 볼 베어링 타입 터보 분자 펌프 (TMP)를 개발하고 2014 년에 TMP-B300을 발표했습니다. 2017 년에는 TMP-B70을 발표했습니다. 진공 챔버 및 차동 배기 시스템은 각 진공 챔버를 개별적으로 배출하도록 구성됩니다. TMP 고장으로 인한 장비 비용을 줄이고 장비 차단 위험을 줄이기 위해 주류 구성은 각 진공 챔버에 하나의 TMP를 연결하는 대신 하나의 TMP를 사용하여 다중 진공 챔버가 소진된다는 것입니다. 이 차동 배기 가스를 가능하게하려면 다중 공기 흡입구가있는 이중 입구 유형 (또는 다중 inlet 유형 또는 분할 흐름 유형) TMP가 사용됩니다. 이 기사는 질량 분석기 (주로 가스 크로마토 그래피 질량 분석기)를 위해 개발 된 2 개의 공기 흡입구가있는 볼 베어링 타입 TMP 인 TMP-BD200을 소개합니다.
1실시간 바카라 기계 부서 TMP 사업 단위
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