특별 에세이
고속 스퍼터링 장비를 로투스 바카라하여 차세대 이동성 구성 요소에 적용
로투스 바카라 Review 79 [3/4] 171-176 (2022)
요약
고속 스퍼터링 필름 형성 방법은 기존의 스퍼터링 필름 형성 장치보다 3 차원 형태로 더 나은 순환을 갖고 있으며, 기초 수지에 대한 높은 접착력으로 금속 박막의 형성을 실현할 수 있으며 주로이 기술을 로투스 바카라하여 적용되었습니다. 이 장치의 추가 개발을 위해, 본 발명자들은 다각형 거울을위한은 합금 필름 및 반사 방향 필름을 조사하여 3 차원 구조를 갖는 광 검출 및 범위 (LIDAR)에 대한 덮개를 조사했으며, 둘 다 LIDAR 성분에 필요한 광학 특성을 얻을 수있었습니다. 또한, 고속 구리 스퍼터링을 조사하고, 구리 배선이 3 차원 모양의 워크 피스 측면에서 고속으로 형성 될 수 있음을 발견했으며, 3D-rolded interconnect 장치 (MID)에 적용될 수있는 전기적 특성이 얻어졌다.
Shimadzu Industrial Systems Co., Ltd.
*로투스 바카라 비평에 발표 된 정보는 논문이 출판 된 시점에서입니다. 나열된 제품을 사용할 수 없을 수도 있습니다.