주요 모델
TMP-5305
특징 :
- 반응 제품 호환
반도체 및 액정 에칭에 의해 생성 된 반응 제품의 경우 바카라 규칙 보호는 로터 표면 처리, 바카라 규칙 온도 제어 및 동적 밀봉에도 적합합니다.
(자세한 사양은 별도로 저희에게 연락하십시오.) - 새로운 필드 네트워크 호환
TMP-5305의 EI-A05 시리즈 컨트롤러는 RS-232C 및 RS-485 및 ETHERCAT 통신과의 직렬 통신을 위해 선택할 수 있습니다. 통신 기능을 사용하면 TMP를 시작/중지하고 작동 상태를 모니터링하며 작동 기록을 읽을 수 있습니다.
압도적 인 배기 흐름
AR 허용 유량은 4000SCCM이므로 기존의 터보 분자 바카라 규칙와 비교하여 성능이 30% 향상됩니다.
업계에서 가장 높은 배기 속도※
배기 속도는 이전 모델에 비해 20% 증가하여 에칭 프로세스의 가장 높은 배기 속도를 달성했습니다. 이 펌프는 소형화 및 다중 계층화가 진행되는 바카라 규칙 제조에 이상적입니다.
- *에칭 프로세스를위한 회사 조사
TMP-04 시리즈
작고 간단한 디자인이 있지만 탁월한 배기 성능과 에너지 절약 성능이 높습니다.
이것은 대량의 가스를 지속적으로 내밀히 배출 할 수 있고 넓은 압력 범위에서 사용할 수있는 질량 배기 시리즈입니다.
특징 :
- 반응 제품 호환
반도체 및 액정 에칭에 의해 생성 된 반응 제품의 경우 바카라 규칙 보호는 로터 표면 처리, 바카라 규칙 온도 제어 및 동적 밀봉에도 적합합니다.
(자세한 사양은 별도로 저희에게 연락하십시오.)
배기 성능 향상
300mm 웨이퍼 및 대형 LCD 기판의 진공 처리 공정의 경우 1-5PA 범위의 배기 속도가 이전 모델에 비해 크게 개선되었습니다.
진공 수준을 유지하는 동안 유량이 더 큰 가스를 도입 할 수 있습니다.
컴팩트하고 고도로 기능적
2 가지 유형의 전원 공급 장치는 모든 03 시리즈 및 04 시리즈 펌프에 사용할 수 있습니다.
또한 펌프, 전원 공급 바카라 규칙 및 케이블의 조합을 변경하더라도 (길이 3-30m) 조정 작업없이 작동 할 수 있습니다.
