반도체 및 FPD 제조 공정의 대표로서 광범위한 필드에 적용됩니다.
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통합 X 시리즈
- 더 컴팩트
- 온도 제어 기능 추가
- IP54 호환
- 에너지 절약
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- 네트워크 연결 지원
- 다양한 모니터 기능
(전원 공급 장치) - 커플 링 무료
- 넓은 범위
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통합 전원 공급 장치
- 자기 및 세라믹 베어링을 통해 낮은 진동과 높은 수명을 달성합니다
- 높은 배압, 높은 수소 압축 비율
- 전력 절약
- All-Way 설치 가능
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모델 번호 별 라인업
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응용 프로그램 별 라인업
플랜지 직경 (mm) | ≦ 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
응용 프로그램 | 타입 | |||||||
CVD, 에칭 |
대용량 화학 온라인 온라인 바카라 사이트 사이트 |
X4304 |
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에칭 |
반응 제품 호환 타입 |
|||||||
이온 임플란트, CVD, 에칭 |
넓은 지역 수냉식 화학 온라인 온라인 바카라 사이트 사이트 |
X4304 |
||||||
PVD, 검사 장비 |
공랭식 온라인 바카라 사이트 |
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터보 분자 온라인 바카라 넓은 지역 TMP-403 시리즈 진공 장비/산업 기계 Shimadzu Manufacturing 터보 분자 에볼루션 바카라 넓은 지역 TMP-803 시리즈 진공 장비/산업 기계 Shimadzu Manufacturing |
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||||
넓은 지역 수냉식 온라인 바카라 사이트 | ||||||||
에너지 절약, 배기 시스템 |
높은 배압 |
W2404 LMC |
W3503 LMC |
|||||
매우 높은 진공 배기 가스 | 높은 압축 비율 온라인 바카라 사이트 |
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H3153 |